簡易四探針測試儀 數(shù)字式四探針測試儀  四探針電阻測量儀   

型號:DL10-STZ-4

數(shù)字式四探針測試儀，是二量程的電阻測量儀器，配以手持式測試頭或座式測試架，可用來測量片狀，柱狀，或塊狀，電阻率在0.01~200歐姆/厘范圍內(nèi)的半導(dǎo)體材料。(客戶根據(jù)不同的要求可以選擇不同的量程，zui小可以測量0.0001Ωzui大可以測量100000Ω,根據(jù)電流檔定精度)通過對恒流源的調(diào)整，可以對某些測量結(jié)果進(jìn)行修整，例如對普通硅材料的測試結(jié)果要乘以0.628的探險頭修正系數(shù)，對硅材料薄層擴散和導(dǎo)電薄膜 “方塊電阻“ 的修正系數(shù)為4.53等均可通過調(diào)正恒流電流加以處理。SZT－4數(shù)字式四探針測試儀，體形小巧，操作方便，量程適中，十分適於對重?zé)捇亓系姆诌x。

本儀器工作環(huán)境條件為：

　　溫　　度：18℃―25℃

相對濕度：60%－80%

工作室內(nèi)應(yīng)無強電場干擾，不與高頻設(shè)備共用電源。

二，技術(shù)參數(shù)

1,測量范圍

電 阻 率 0.01-200Ω-cm

方塊電阻 0.01-200Ω-口

電 阻 0.01-200.0

2,數(shù)字電壓表

(1)量 程 : 200mV單一量程

(2)誤 差: 讀數(shù) ±0.2%±3字

(3)輸入電阻 : >10MΩ

3,恒 流 源

(1)電流輸出 0~10mA連續(xù)可調(diào)

(2)量 程 1mA, 10mA

(3)誤 差 ±0.2%±3字,

4,手持式四探針測試頭

(1)探 針 間 距:: 1mm

(2)探針機械游移率: ±1.0%

(3)探 針 材 料: 碳化鎢,φ0.

(4)壓力: zui大 2Kg

5,電源:

220V±10%：50Hz

功耗：　　5W

6，外形尺寸;

7，使用方法：取出儀器平放於桌上，將三芯電源線接入儀器的電源插座中，并接通交流電壓（220V），再將測試探頭的插頭插入相應(yīng)的插座中，按下電源開關(guān)使儀器得電，儀器上的數(shù)字電壓表就有讀數(shù)顯示，如果面板上的二個功能開關(guān)全部處於彈出狀態(tài)，則二個開關(guān)旁邊的“調(diào)整”指示燈和：“1mA”指示燈將被點亮，此時旋轉(zhuǎn)電流調(diào)節(jié)旋鈕電壓表讀數(shù)就會發(fā)生有規(guī)則的變化，這說明儀器已經(jīng)可以正常工作。

下一步就可以跟據(jù)測試的須要對電流進(jìn)行調(diào)整。電流調(diào)整應(yīng)該將電流開關(guān)放在10mA的位置上。

8，電流調(diào)整 ：

（1）半導(dǎo)體（硅）材料的電阻率測試：

在10mA電流量程上將電流調(diào)到6.28mA,相當(dāng)于在10mA電流情況下測得的結(jié)果,乘以探頭修正系數(shù)0.628。

由於恒流源的調(diào)整，1mA和10mA是同步的，在`10mA調(diào)準(zhǔn)以后1mA量程同樣包含有這個修正系數(shù)。

（2）半導(dǎo)體（硅）材料薄層擴散，玻璃或塑料的薄導(dǎo)電鍍復(fù)層的方塊電阻 測試:

在10mA電流量程上將電流調(diào)至4.53mA, 測得結(jié)果乘以10,就是方塊電阻。

（3）電阻測試：

電阻測試不能使用探頭，必須換用帶有鱷魚夾子的四線插頭

“電阻測試線”（選配件）。電流調(diào)到10mA,電壓表的顯示值

就是電阻值，不用修正。

(4)在做好測試前的準(zhǔn)備工作之后，取下探頭保護(hù)蓋，將探頭壓在被測工件上，使四根探針和工件保持良好接觸，

使用時的注意事項；

（1） 保護(hù)蓋取下后一定要保存好，用畢仍要蓋好，以防探針損壞。

（2） 儀器操作時，應(yīng)備戴乾燥手套，操作場地，桌椅均應(yīng)保持乾燥。

（3） 在被測材料外形尺寸允許的情況下，建議使用臺式測試架（選購件），可使測試精度和穩(wěn)定性都會有所提高。

（4） 對於被測工件為片狀其厚度<3.49毫米時,還應(yīng)對測試結(jié)果進(jìn)行厚度修正,修正參數(shù)見參數(shù)表,附錄`1A和附錄1B 。

（5） 附錄2，是對片狀工件外形（園形，矩形）和測量位置的修正參數(shù)表。

      北京北信未來電子科技中心

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：王華

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